光學透鏡的表面質量用來衡量光學透鏡表面特性，并且涵蓋了一些劃痕和坑點等瑕疵。這些表面的大部分瑕疵純粹是表面上的瑕疵，并不會對系統(tǒng)性能產(chǎn)生很大的影響，雖然，它們可能會使系統(tǒng)通光量出現(xiàn)微小的下滑，使散射光出現(xiàn)更細微的散射。然而，有些表面會對這些影響更敏感，如：

(1)圖像平面的表面，因為這些瑕疵會產(chǎn)生聚焦

(2)具有高功率級別的表面，因為這些瑕疵會增加能量吸收并毀壞光學透鏡。

表面質量常用的規(guī)格是由MIL-PRF-13830B說明的劃痕和坑點規(guī)格。通過將表面的劃痕與在受控的照明條件下提供的一系列標準劃痕進行對比， 來確定劃痕名稱。因此， 劃痕名稱不是描述其實際的劃痕， 而是根據(jù)MIL規(guī)格將其與標準的劃痕進行比較。然而， 坑點名稱直接與表面的點或小坑有關。坑點名稱是通過以微米計的坑點直徑除以10來計算的，通常劃痕坑點規(guī)格在80至50之間將視為標準質量，在60至40之間為精確質量，而在20至10之間將視為高精度質量。